刻蝕機(jī)和光刻機(jī)的區(qū)別（光刻機(jī)和蝕刻機(jī)哪個(gè)重要）

乍一看光刻機(jī)和蝕刻機(jī)非常接近，但是光刻機(jī)和蝕刻機(jī)卻不能混為一談，因?yàn)槲g刻只是制造芯片其中之一的環(huán)節(jié)罷了。而刻蝕機(jī)也只是諸多芯片制造設(shè)備其中之一。下面我給大家聊一下蝕刻機(jī)。

刻蝕機(jī)和光刻機(jī)的區(qū)別

工作原理不同

如果把制造芯片比喻成蓋房子，那么光刻機(jī)的作用就是把房子的結(jié)構(gòu)標(biāo)注在地上。刻蝕機(jī)就是在光刻完成以后才登場的設(shè)備，也是光刻完成以后最為重要的設(shè)備之一。刻蝕機(jī)最主要的作用就是按照光刻機(jī)已經(jīng)標(biāo)注好的線去做基礎(chǔ)建設(shè)，把不需要的地方給清除掉，只留下光刻過程中標(biāo)注好的線路。

結(jié)構(gòu)不同

光刻機(jī)的最主要的核心技術(shù)就是光源和光路，其光源和光路的主要組成部分有四個(gè)，光源、曝光、檢測、和其他高精密機(jī)械組成。對比之下，蝕刻機(jī)的結(jié)構(gòu)組成就要簡單很多，主要是等離子體射頻源、反應(yīng)腔室和真空氣路等組成。

售價(jià)不同

ASML的EUV光刻機(jī)單臺(tái)售價(jià)高達(dá)1.2億美元，而蝕刻機(jī)的售價(jià)就要低很多了，每臺(tái)售價(jià)在幾十萬到幾百萬美元之間。

蝕刻機(jī)的相關(guān)工作原理我之前有發(fā)文，有感興趣的可以去我主頁去找，這里我也不再過多敘述。

國產(chǎn)蝕刻機(jī)就給我國半導(dǎo)體領(lǐng)域做了一個(gè)很好的榜樣，我國中微半導(dǎo)體研發(fā)出國際主流的5nm蝕刻機(jī)并取得臺(tái)積電的認(rèn)證后，美國商務(wù)部就把蝕刻機(jī)從對華出口限制清單上移除了。這充分說明了一件事情，只要自己有了核心技術(shù)，對手就沒法再打壓你。

總體來說，我國在半導(dǎo)體領(lǐng)域還相對比較落后，還有較長的路要走，但是只要我們堅(jiān)持走下去，就一定可以看見彩虹。