TO為直燃式熱氧化爐（thermaloxidizer）是直接燃燒的廢氣焚燒處理設備（簡稱TO爐）。將可燃的有害廢氣VOCs的溫度提高到反應溫度，從而發生氧化分解成無害物質的裝置。燃燒溫度：760℃-850℃，特殊工況特殊對待。停留時間：一般

TO為直燃式熱氧化爐（thermal oxidizer）是直接燃燒的廢氣焚燒處理設備（簡稱TO爐）。將可燃的有害廢氣VOCs的溫度提高到反應溫度，從而發生氧化分解成無害物質的裝置。

燃燒溫度：760℃-850℃，特殊工況特殊對待。

停留時間：一般在0.75s以上

應對廢氣濃度：25%LEL，比RTO系統應對濃度要高，不用考慮超溫的問題。當廢氣濃度過高，換熱器的材質需要在設計中考量。

處理效率:99.5%

直燃系統介紹

直燃系統主要包括燃燒機、燃燒室、換熱器、熱回收裝置等進行組成，往往根據實際的工況進行搭配，兩段式換熱器或三段式換熱器，或者搭配導熱油鍋爐或者蒸汽鍋爐系統，TO爐的應用往往是和生產段進行緊密搭配。盡管本體的熱回收效率小，但是利用多級熱回收，仍然可以實現熱能的高效回收利用。

與RTO進行對比

當和RTO進行對比時，TO的結構更加簡單，簡單帶來的好處是穩定性，不像RTO系統閥門眾多，單室多室，控制更為復雜。美中不足的是TO的熱效率問題，畢竟換熱器的熱回收能力并沒有那么高。

在半導體（晶圓）行業的應用，大風低濃的工況，選擇沸石轉輪+TO的工藝和沸石轉輪+RTO的工藝進行對比（感興趣的可以計算二者能耗進行比較）。當前置吸附濃縮系統一致的情況下（濃縮倍率，去除效率），且TO和RTO的規格較小（5000NM3/h以下）。使用的TO爐燃燒機選擇不帶助燃風機的類型。再進行實際運行能耗對比，兩個系統的天然氣能耗相近（TO偏高），但TO系統的風阻小于RTO系統。另外從投資成本和運行的穩定性以及處理效率，TO爐的優勢就明顯了。天然氣能耗相當，你愿意選擇什么系統？

寫在最后

為什么想談一談TO爐，其實也是想說明一點沒有最好的工藝，只有適合的工藝。很多采用RTO系統的處理裝置，實際的氣密性差，蓄熱體抗堵性差，廢氣中含硅，含無機鹽，含有油煙等工況，往往只靠RTO并不能良好解決實際問題。

在實際工況中應用TO爐系統，往往不僅是凈化廢氣，同時還實現和生產工藝的搭配。如涂布線選擇TO爐搭配導熱油鍋爐或者TO爐搭配余熱回收系統。

關于TO爐系統你有什么看法，歡迎拍磚！